除了早期使用BA超高真空计外,太阳网集团8722制造商的超高真空系统的全压力侧已经开发出许多非常高的真空计,例如冷阴极磁控制计,抑制仪表和弯曲仪表。但对于许多研究工作而言,仅仅依靠全压力数据是不够的。例如,太阳网集团8722真空系统中的吸附,冷凝,解吸过程等涉及容器表面与系统内部材料和残余气体分子的相互作用。此时,获得有关系统中的气体成分和分压的数据比全压力数据更有说服力。
将一对电极置于真空中,并且当施加高电压时,电极之间的电击穿发生在特定电压。它的击穿与空气中的电击穿非常不同。空气中的击穿是由在气体作用下高速移动的气体中的少量自由电子引起的。与气体分子的碰撞产生更多的电子和离子,新的电子和离子与中性原子碰撞产生更多的电子。和离子。这种雪崩型电离过程在电极之间产生放电路径,产生电弧。在真空中,由于压力低,因此气体分子很少。在这样的环境中,即使电极间隙中存在电子,当它们从一个电极飞到另一个电极时,它们很少有机会与气体分子碰撞。因此,不可能由电子和气体分子的碰撞引起雪崩型电击穿。正是因为气体分子非常稀少,并且当诸如场发射的其他现象在非常高的电压下发生时,需要形成真空间隙电击穿。从理论上讲,推测电场强度需要达到108V/cm以上才能引起电击穿。事实上,由于一系列不利因素,例如电极表面粗糙度和清洁度,真空间隙的绝缘强度将低于理论值。计算值为几个数量级。