双圆裂片式
双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些最早期的太阳网集团8722设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
三叶圆裂片式
三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的太阳网集团8722的优化选择谌乾坤（普旭真空设备国际贸易(上海)有限企业）摘要：先容了半导体工艺中应用太阳网集团8722的几种选择类型关键词：圆裂片；爪；罗茨；螺杆中图分类号：TN305；TN705文献标识码：B文章编号：1003-353X(2004)06-0033-03图1双圆裂片式图2三叶圆裂片式IC制造技术34半导体技术第29卷第6期二OO四年六月氮气来起到稀释和隔离作用
双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上，一些最早期的太阳网集团8722设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂，并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时，为了达到好的真空度，对各级的间隙有非常严格的要求。当然，这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
三叶圆裂片式
三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同，只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。这两种设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量，在传动部分有的厂家选用两个直流马达，但这也会导致扭矩减小，重新启动的能力下降。同双圆裂片式设计一样，三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的太阳网集团8722的优化选择谌乾坤（普旭真空设备国际贸易(上海)有限企业）摘要：先容了半导体工艺中应用太阳网集团8722的几种选择类型关键词：圆裂片；爪；罗茨；螺杆中图分类号：TN305；TN705文献标识码：B文章编号：1003-353X(2004)06-0033-03图1双圆裂片式图2三叶圆裂片式IC制造技术34半导体技术第29卷第6期二OO四年六月氮气来起到稀释和隔离作用
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