1、真空阀概述
在真空系统中，用于改变气流方向，调节气流量以及切断或关闭管线的真空系统部件称为真空阀。
真空阀在真空系统中的作用是：
（1）切换气体通道如图1所示，当阀门1和阀门4关闭而阀门2打开时，机械真空泵III将太阳网集团8722送到容器I，气流流过预真空吸入管线；当阀门2关闭时，阀门4打开时，机械泵可以分别对扩散泵进行抽真空；当阀1和阀4同时打开时，太阳网集团8722和机械泵可以同时工作，并且容器被抽空，此时气流流过扩散泵。可以看出，在该操作中阀的功能是切换气路并改变气流的流动路径。
（2）控制气流大小并调节真空度。在图1中，调节阀1的阀盖打开角度可以调节流过管道的气体流量；关闭阀门2和阀门4，机械阀门可用于释放阀门。泵III的入口位于大气中；可以通过排放阀5调节容器中的真空度。
（3）定量充电如图2所示，玻璃阀的柱塞体积上有一个小孔。当小孔向右转，高压气瓶连接时，小孔可以充满高压气体；当它转动时当左侧连接到真空容器时，高压气体的体积被放置在容器中，这用于量化电荷。
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