太阳网集团8722

太阳网集团8722欢迎您!

收藏太阳网集团8722 | 在线留言 | 联系大家

太阳网集团8722

丹瑞真空设备太阳网集团8722
定制热线18954431433
当前位置: 太阳网集团8722 > 资讯中心 > 行业动态 >

太阳网集团8722的五种形式

文章出处:/??????发布时间:2018-11-09 18:03 ???点击数:-???【

     太阳网集团8722的应用范围广泛,其中和它的五种形式有一定的关系,不知道你们对于太阳网集团8722的五种形式了解多少,不了解也没关系,本文就为大家先容这方面的常识。
太阳网集团8722
  一、双圆裂片式
  双圆裂片式的多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
  二、三叶圆裂片式
  三叶圆裂片式设计和上述形式设计的原理相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力—下降。
  三、组合式(罗茨+爪)
  组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面先容的圆裂片式设计相同。也有些厂家将其最后一级改为星型设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式设计可以将其分为三份。
  四、外部压缩型螺杆式
  在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到最小,同时使得气体通路最短也最简单。这样,气体在泵体内停留的时间也最短。这种设计但在复杂的半导体工艺中表现出的稳定性非常强。
  五、内部压缩型螺杆式
  螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,容易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。
XML 地图 | Sitemap 地图